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パワーデバイス特性評価のための マルチSMUシステム構築


 高電圧/大電流ソースメジャーユニット(SMU)を使い、パワー半導体デバイスのDC特性評価システムを設計・構築するたのステップには以下の事柄が含まれます:

・ 試験要求を満たす機器を選定する
・ 計測器と被試験物(DUT)をつなぐケーブルやフィクスチャを選定する
・ システムの安全性と計測器の保護を検証する
・ 測定の信頼性を確保するよう計測器のセットアップを最適化する
・ 計測ハードウェアを制御する