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ケースレー自動特性評価スイート（ACS）ソフトウェア
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特性評価アプリケーションに最適なプログラミング設定による優れた柔軟性
ACSは、グラフィカル・ユーザ・インタフェースを備えた独立したツールであるScript Editorを装備しており、リモート操作、データ解析、システム自動化を実行するPythonコードやTSP®スクリプトを開発できます。GUIデザインの作成／開発やユーザ・ライブラリ／モジュールの管理を直感的に行うことができます。
データ収集プロセスの自動化
ACSのウエハ・プローバ自動化オプションを使用することで、さまざまなタイプの半自動／全自動ウエハ・プローバに対応できるため、簡単にテストをセットアップでき、大量のデータをすばやく取込むことも可能です。このオプションには、ウエハ記述ユーティリティ、ビニング機能を備えたリアルタイム・ウエハ・マップ、カセット・サンプル・プラン・ユーティリティ、テスト後のカセット／ウエハ・レビュー・ユーティリティが含まれています。ACSに組み込まれた多くのツールや機能を活用することで、デバイスの自動特性評価機能を拡張できます。
テスト・プロジェクト／テスト結果の共有
ACSは、さまざまなハードウェア構成に共通する各種の主要な要素を提供しているため、作業時間の短縮と生産性の向上を実現します。あるハードウェア実装から別のハードウェア実装まで、一貫性のあるシステムの運用が可能なため、ある1つのデバイス・コンポーネントの特性評価でACSベースのシステムを使用した経験があれば、ウエハ・レベルのテスト用に設計された別のシステムにも簡単に対応できます。
ケースレー・ハードウェアの生産性の向上
ACSのツールは、テスト開発を簡素化し、システムにリンクされているすべてのケースレー機器の速度を最大化します。ACSとケースレーのTSPベースのハードウェアを組み合わせることで、新しいプログラミングの概念や言語の学習に時間を費やすことなく、目標を達成するために必要なデータを取得できます。その結果、テストのコストを削減でき、業界最高のテスト・スループットが達成できます。
対応計測器
| 機器の種類 | 型名 | ACSのエディション |
|---|---|---|
| 高感度計測器 | 6200シリーズ、2182A | ACS Basic ACS Standard |
| ソースメータ | 2600Bシリーズ： 2601B型、2602B型、2604B型、2611B型、2612B型、2614B型、2634B型、2635B型、2636B型 2600Aシリーズ： 2601A型、2602A型、2611A型、2612A型、2635A型、2636A型 2400シリーズ・グラフィカル・タッチスクリーン・シリーズ： 2450型、2460型、2460-NFP型、2460-NFP-RACK型、2460-RACK型、2461型、2461-SYS型、2470型 2400シリーズ・スタンダード： 2401型、2410型、2420型、2430型、2440型 2606B型高密度： 2606B型 2650シリーズ・ハイパワー： 2651A型、2657A型 |
ACS Basic ACS Standard |
| パラメータ・アナライザ | 4200Aシリーズ | ACS Basic ACS Standard |
| DMM | DMM7510、DMM6500、2010シリーズ | ACS Basic ACS Standard |
| スイッチング・システム | 707A/B型、708A/B型、3700A型 | ACS Basic ACS Standard |
| パルス・ジェネレータ | 3400シリーズ | ACS Basic ACS Standard |
| プローバ | TEL P8/P12、TEL T78S/80S、ACCRETECH（東京精密）TSK9/UF200/UF3000/APM60/70/80/90、MPI SENTIO TS2000/TS2000-SE/TS2000-HP/TS3000、FormFactor（Cascade）Summit 12000、FormFactor（Cascade）S300、Suss MicroTec PA200/Cascade CM300、Electroglas EG2X/EG4X、Wentworth Pegasus 300S、Signatone CM500、Yang Sagi3、Micromanipulator P300A、 Vector Semiconductor AX/VX Series、Apolowave AP200/AP300、MJC AP-80、Semiprobe SPFA Prober、 HiSOL | ACS Standard |
注：
- ITMは、24xx TTI型、26xx型、およびそれらの任意の組み合わせをサポートしています。
- ユーザはSTMスクリプトであらゆるTSP機器を制御できます。既存のACS STMライブラリでは、ライブラリの定義ごとに特定の機器をサポートしています。
- ユーザはSTMスクリプトであらゆるPTM機器を制御できます。既存のACS PTMライブラリでは、ライブラリの定義ごとに特定の機器をサポートしています。
ACS Basicエディションの主な機能
US $437
3ヶ月のサブスクリプション
US $1,410
12ヶ月のサブスクリプション
US $3,570
永続的
- パッケージ化されたデバイス（MOSFET、BJT、IGBT、ダイオード、抵抗など）用に設計
- 豊富なテスト・ライブラリ・セットが用意されており、プログラミングなしで迅速かつ簡単にテストのセットアップと実行が可能
- データ解析ツールを内蔵しており、パラメトリック・データの迅速な解析が可能
- 自動化されたハードウェア管理ツールを使用して簡素化された機器設定
ライセンス・オプションを選択して続行
ACS Standardエディションの主な機能
US $8,660
12ヶ月のサブスクリプション
永続的
- GUI、Lua Script、PythonおよびCのテスト・モジュールに対応
- 幅広い機器とプローバをサポートし、さまざまな用途に対応
- 直感的なGUIにより、ベンチトップからでもI-Vのテスト、解析、測定結果が簡単に得られ、自動化されたパラメトリック・テスタによるユーザ・エクスペリエンスが向上
- デバイス、サブサイト、サイト、ウエハ、カセットの各レベルでテストを開発して実行し、テスト機能を向上
ライセンス・オプションを選択して続行
ACS WLRエディションの主な機能
US $13,900
12ヶ月のサブスクリプション
永続的
- 2〜44チャンネルのシステム構成
- JEDEC準拠の総合的なテスト・ソフトウェア
- 新しい技術と従来技術の両方に対して最適化
- 逐次テストと並列テストの両方に対応
- 完全自動のシングルサイトおよびマルチサイト機能
- 主要なウエハ・プローバ・ステーションに対応
- リアルタイムのプロットとウエハ・マッピング
ライセンス・オプションを選択して続行
ラボからファブまであらゆるアプリケーションに対応
ACSベースの統合テストシステムは、パラメトリック・ダイ・ソート、ハイパワー半導体コンポーネントの特性評価、ウエハ・レベルの信頼性テストなどのアプリケーションに最適なソリューションです。半自動／全自動プローバと適切に組み合わせることで、ハードウェアのコンフィグレーションやテスト・プロジェクトの開発を、特定のタスクに合わせて簡単に最適化できます。
アプリケーション・ノート：ケースレーのハイパワー・システムSMUとACS Basic Editionソフトウェアによるパワー半導体デバイスのテスト
信頼性スループットの向上
信頼性テストは品質を改善し、不具合の発生頻度を抑え、高い歩留まりを確保して、自信を高めます。ACSのソフトウェアは、共有されたストレス手法に対応して膨大な信頼性テストの実施を可能にし、テスト時間を短縮します。
デルタ・モードを使用した超低抵抗測定
2182A/622X型の組み合わせは、ナノテクノロジ関連の多くの用途に適しています。結果の無効化や被測定デバイス（DUT）の破損を引き起こすような大きな電力消費を発生させることなく、抵抗を測定できます。ACSソフトウェアでデルタ・モード・テストを実行し、これらの高感度測定をテスト・システムに組み込みましょう。
GaN HEMTのI-V特性評価のための電源シーケンス
GaN HEMTは「ノーマリーオン型」の特性を持つため、I-Vの特性評価を行う場合に特定の電源シーケンスを必要とします。ACSソフトウェアは、デバイスのGaN HEMT特性評価に必要な電源シーケンスをサポートしているため、デバイスにダメージを与えることなく固有のI-V特性を測定できます。
半導体ワークフロー全体に対応したアプリケーションを提供
ACS Basic EditionおよびACS Standard Editionソフトウェアは、半導体ワークフロー全体に対応した広範なテストを実施できるため、半導体デバイスの詳細な特定評価に最適です。ACS BasicおよびACS Standardが統合されたテスト・システムは、以下の特長を備えています。
- デバイス、ウエハ、カセット・レベルでのテスト
- 柔軟なコンフィグレーション、ソフトウェア、アプリケーションのカスタマイズ
- インタラクティブで自動化されたシステム操作
- GUIツールとスクリプト・ツールの強力な組み合わせによるテスト・モジュール開発
開発フェーズ
ACS Basic Editionソフトウェアは、コンポーネントおよびディスクリート（パッケージ化された）半導体デバイスのパラメトリック・テストに最適です。このソフトウェアは、研究開発に携わる技術者やエンジニアの生産性の向上に役立つ各種の機能を備えています。
- パッケージ化されたデバイス（MOSFET、BJT、IGBT、ダイオード、抵抗など）用に設計
- 豊富なテスト・ライブラリ・セットが用意されており、プログラミングなしで迅速かつ簡単にテストのセットアップと実行が可能
- データ解析ツールを内蔵しており、パラメトリック・データの迅速な解析が可能
- ケースレーの2600Bシリーズ、2400シリーズ、2651A型、および2657A型システム・ソースメータをサポート
統合フェーズ
ACS Standard Editionソフトウェアは、堅牢なプロセス開発やウエハ・レベルの信頼性（WLR）などの半自動ウエハ・テストを統合するフェーズで使用されます。このソフトウェアは、SMU-per-pin方式のシステム・レベル・テストに使用できます。ACS WLRソフトウェアには、以下のような特長があります。
- 個々のウエハまたはカセット全体をテストする完全自動化機能
- 柔軟なテスト・セットアップと並列テストに対応したソフトウェア
- JEDECの標準テスト手法に準拠した信頼性テスト・モジュール（RTM）
- カスタマイズされたテスト・モジュール／手順の作成が可能
製造フェーズ
ACS Standard Editionソフトウェアは、プロセス制御監視（PCM）、ウエハ受入テスト（WAT）、ダイ・ソートなどが完全に統合され自動化された、ラックベースのカスタマイズされたテスト・システムでも使用されます。ACSに組み込まれた多くのツールや機能を活用することで、デバイスの自動特性評価機能を拡張できます。
- ウエハ／カセット・レベルの自動化
- デバイス／テストをサイト／サブサイトにマップするテスト・マップ
- インタラクティブなプローバ制御モード
- 単一またはウェーハ単位のKeithleyデータ・ファイル（KDF）および／またはCSVファイル