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Keithley Automated Characterization Suite (ACS)-Software
Flexibilität bei Programmierungspräferenzen für Charakterisierungsanwendungen
Mit dem Script Editor verfügt ACS über ein unabhängiges Tool mit grafischer Benutzeroberfläche für die Generierung von Python- und TSP® Scripts zur Instrumentenkontrolle, Datenanalyse und Systemautomatisierung. Es bietet intuitive Möglichkeiten zur Entwicklung und Herstellung im GUI-Design sowie zur Verwaltung von Benutzerbibliotheken und -modulen.
Automatisieren Sie Ihre Datenerfassung
Die Option zur Automatisierung der Wafersonden in ACS erleichtert die Verknüpfung einer Vielzahl der gängigsten halb oder vollautomatischen Wafersondenstationen in Ihrem Versuchsaufbau, wodurch in kürzester Zeit eine große Datenmenge erfasst werden kann. Diese Option beinhaltet ein Wafer-Beschreibungsprogramm, Real-Time Wafer-Karten zur Klasseneinteilung, ein Kassettenprogramm für Probenpläne sowie ein Kassetten- und Waferprüfprogramm nach dem Versuch. Viele der Tools und Features von ACS dienen zur Verbesserung der Charakterisierung automatisierter Geräte.
Teilen Sie Testprojekte und Ergebnisse
Die wesentlichen Komponenten von ACS unterstützen eine Vielzahl an Hardwarekonfigurationen, was Zeit spart und Ihre Produktivität erhöht. Systeme arbeiten von einer Hardware zur anderen konsistent. So können Sie Ihre Daten beispielsweise ganz einfach von einem ACS-System zur Komponentencharakterisierung auf einem Einzelgerät auf ein anderes Gerät zur Waferprüfung übertragen.
Maximieren Sie die Produktivität Ihrer Keithley-Hardware
ACS-Tools vereinfachen die Testentwicklung und maximieren die Geschwindigkeit jedes Instruments von Keithley, das in das System integriert ist. Hardware, die sowohl ACS als auch Keithley TSP nutzt, bietet den höchsten Durchsatz in der Branche und senkt so die Testkosten. Dabei müssen Sie keine Zeit zum Erlernen neuer Programmierkonzepte oder -sprachen aufwenden, bevor Sie die Daten erhalten, mit denen Sie Ihre Ziele erreichen können.
Unterstützte Instrumente
| Gerätetyp | Modell | ACS-Edition |
|---|---|---|
| Empfindlich | Serie 6200, 2182A | ACS Basic ACS Standard |
| SMU-Geräte | Serie 2600B: 2601B, 2602B, 2604B, 2611B, 2612B, 2614B, 2634B ,2635B, 2636B Serie 2600A: 2601A, 2602A ,2611A, 2612A, 2635A, 2636A Serie 2400 Grafischer Touchscreen: 2450, 2460, 2460-NFP, 2460-NFP-RACK, 2460-RACK, 2461, 2461-SYS, 2470 Serie 2400 Standard: 2401, 2410, 2420, 2430, 2440 2606B High Density: 2606B Serie 2650 Series für hohe Leistung: 2651A, 2657A |
ACS Basic ACS Standard |
| Parameter-Analysatoren | 4200A | ACS Basic ACS Standard |
| DMM | DMM7510, DMM6500, Serie 2010 | ACS Basic ACS Standard |
| Schaltsysteme | 707A/B, 708A/B, 3700A | ACS Basic ACS Standard |
| Impulsgeneratoren | Serie 3400 | ACS Basic ACS Standard |
| Tastköpfe | TEL P8/P12, TEL T78S/80S, ACCRETECH (Tokyo Semitsu) TSK9/UF200/UF3000/APM60/70/80/90, MPI SENTIO TS2000/TS2000-SE/TS2000-HP/TS3000, FormFactor (Cascade) Summit 12000, FormFactor (Cascade) S300, Suss MicroTec PA200/Cascade CM300, Electroglas EG2X/EG4X, Wentworth Pegasus 300S, Signatone CM500, Yang Sagi3, Micromanipulator P300A, Vector Semiconductor AX/VX Series, Apolowave AP200/AP300, MJC AP-80, Semiprobe SPFA Prober, HiSOL | ACS Standard |
HINWEISE:
- ITM unterstützt 24xx-TTI-Geräte, 26xx-Geräte und Mischanwendungen.
- Der Benutzer kann alle TSP-Geräte über das STM-Skript steuern. Bestehende ACS STM-Bibliotheken unterstützen bestimmte Geräte je nach Bibliotheksdefinition.
- Der Benutzer kann beliebige Geräte über das PTM-Skript steuern. Bestehende ACS PTM-Bibliotheken unterstützen bestimmte Geräte je nach Bibliotheksdefinition.
- Suite-Optionen
- Basic Edition
- ACS Standard Edition
- ACS WLR Edition
Basic Edition
Beschreibung:
- Entwickelt für Geräte mit Gehäuse (MOSFETs, BJTs, IGBTs, Dioden, Resistoren etc.)
- Große Anzahl von Testbibliotheken für schnellen und einfachen Testaufbau sowie Durchführung ohne Programmierung
- Integrierte Datenanalysetools zur schnellen Analyse parametrischer Daten
- Vereinfachte Gerätekonfiguration mit dem automatisierten Hardware-Management-Tools
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Vierteljahresabonnement (3 Monate)
ACS-BASICFL-3MO- Vierteljahresabonnement (3 Monate)
Jahresabonnement (12 Monate)
ACS-BASICFL-AN- Jahresabonnement (12 Monate)
Dauerhaft systemabhängig
ACS-BASICNL-PERM- Dauerhaft systemabhängig
ACS Standard Edition
Beschreibung:
- Unterstützt die folgenden Testmodule: GUI, Lua Script, Python und C
- Unterstützt ein breites Sortiment an Geräten und Tastköpfen für eine Vielzahl unterschiedlicher Anwendungen
- Intuitive Benutzeroberfläche zur Vereinfachung von I-V-Messungen, Analysen, Wafer-Mapping und Ergebnissen vom Tischgerät bis zu vollautomatischen Parameterprüfgeräten für höhere Benutzerfreundlichkeit
- Entwicklung und Ausführung von Tests auf Komponenten-, Subsite-, Site, Wafer- und Kassettenebene zur Steigerung der Testmöglichkeiten
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Jahresabonnement (12 Monate)
ACS-BASICFL-AN- Jahresabonnement (12 Monate)
Dauerhaft Gerätegebunden
ACS-STANDARDNL-PERM- Dauerhaft Gerätegebunden
ACS WLR Edition
Beschreibung:
- Systemkonfigurationen von 2 bis 44 Kanälen
- Umfassende JEDEC-konforme Test Suite
- Optimiert sowohl für sich neu entwickelnde als auch ausgereifte Technologien
- Unterstützt sowohl sequenzielles als auch paralleles Testen
- Vollautomatische Single-Site- und Multi-Site-Fähigkeit
- Kompatibel mit allen gängigen Wafer-Messplätzen
- Erstellen von Echtzeitdiagrammen und Wafer-Karten
- Enthält alle Funktionen von ACS Standard
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Jahresabonnement (12 Monate)
ACS-BASICFL-AN- Jahresabonnement (12 Monate)
Dauerhaft systemabhängig
ACS-WLRNL-PERM- Dauerhaft systemabhängig
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Anwendungen von der Theorie zur Praxis
Integrierte Testsysteme mit ACS sind Komplettlösungen für Anwendungen wie die parametrische Die-Sortierung, die Charakterisierung von Hochleistungshalbleiterkomponenten sowie Tests zur Zuverlässigkeit des Wafer-Levels. In Kombination mit den richtigen halbautomatischen und vollautomatischen Sondenstationen kann sowohl die Hardwarekonfiguration als auch die Entwicklung von Testprojekten ganz einfach für spezielle Projekte angepasst werden.
ACS Integriertes Testsystem für parallele Multi-Site-Tests Anwendungshinweis
Durchsatz bei Zuverlässigkeitsprüfungen steigern
Zuverlässigkeitsprüfungen verbessern die Qualität, reduzieren Fehlerraten, sorgen für eine hohe Produktionsausbeute und stärken das Vertrauen. Die ACS-Software unterstützt die Shared-Stress-Methode für Zuverlässigkeitsprüfungen mit hohen Stückzahlen und verkürzt so die Prüfzeiten.
Anwendungshinweise zu Shared-Stress-Zuverlässigkeitsprüfungen mit ACS
Messungen extrem niedriger Widerstände mit dem Delta-Modus
Die Kombination 2182A/622X ist gut geeignet für viele Nanotechnologie-Anwendungen, da sie Widerstandsmessungen ermöglicht, ohne dass viel Strom in den Prüfling gelangt, denn dies könnte Ergebnisse entwerten oder sogar den Prüfling irreparabel beschädigen. Führen Sie Prüfungen im Delta-Modus mit der ACS-Software durch, um diese empfindlichen Messungen in ein Prüfsystem zu integrieren.
Extrem niedrige Widerstandskonfigurationen Keithley-Serie 6200/2182A
Power Sequencing zur I-V-Charakterisierung von GaN HEMTs
Da GaN HEMTs „im Normalzustand an“ sind, ist während der I-V-Charakterisierung eine spezielle Power Sequence nötig. Die Software von ACS unterstützt das Power Sequencing zur Charakterisierung der GaN HEMTs, ohne das Gerät zu beschädigen, und kann somit seine wesentlichen Eigenschaften erfassen.
Anwendungshinweis Power Sequencing zur Charakterisierung der GaN HEMTs
Anwendungen für den gesamten Halbleiter-Workflow
Sowohl ACS Basic als auch ACS Standard werden im gesamten Halbleiter-Workflow verwendet, um eine Vielzahl an Tests zur detaillierten Charakterisierung von Halbleitergeräten durchzuführen. Testsysteme mit ASC Basic und ASC Standard bieten:
- Tests auf Geräte-, Wafer- und Kassettenebene
- Flexible Anpassung bei Konfigurierung, Software und Anwendungen
- Interaktive & automatisierte Systembedienung
- Leistungsstarke Kombination von GUI & Script Tools zur Entwicklung von Testmodulen
Entwicklungsphase
Die Software der ACS Basic Edition ist für parametrische Tests von Komponenten- und Einzel-Halbleitergeräten (mit Gehäuse) optimiert. Diese Software maximiert die Produktivität Ihrer Techniker und Ingenieure im Bereich Forschung und Entwicklung und bietet folgende Features:
- Entwickelt für Geräte mit Gehäuse (MOSFETs, BJTs, IGBTs, Dioden, Resistoren etc.)
- Große Anzahl von Testbibliotheken für schnellen und einfachen Testaufbau sowie -durchführung ohne Programmierung
- Integrierte Datenanalysetools zur schnellen Analyse parametrischer Daten
- Unterstützt System SourceMeter SMU-Geräte der Keithley Serie 2600B, Serie 2400, 2651A und 2657A
Integrierungsphase
Die Software der ACS Standard Edition wird während der Integrierungsphase von halbautomatischen Wafertests verwendet und beinhaltet eine robuste Prozessentwicklung und Zuverlässigkeit des Wafer-Levels (WLR). Diese Software kann bei Leveltests für SMU-per-pin-Systeme verwendet werden. WLR-Software von ACS bietet folgende Features:
- Vollautomatische Tests einzelner Wafer oder einer gesamten Kassette
- Software für flexiblen Testaufbau und flexible Paralleltests
- Zuverlässigkeitstestmodul (RTM) nach JEDEC Standard Test-Methodologie
- Hilft bei der Erstellung individueller Testmodule/Testverfahren
Produktionsphase
Die Software der ACS Standard Edition wird ebenfalls bei voll integrierten und automatisierten, benutzerdefinierten Testsystemen zur Prozessüberwachung (PCM) in Racks, Waferkompatibilitätstests (WAT) und Die-Sortierung genutzt. Viele der Tools und Features der ACS Standard Software dienen zur Verbesserung der Charakterisierung automatisierter Geräte:
- Automatisierung auf Wafer- und Kassettenebene
- Testkarte zur Zuordnung von Geräten und Tests zu Sites und Subsites
- Interaktiver Steuermodus für Sondenstationen
- Keithley-Datei (KDF), einzeln oder pro Wafer und/oder DSV-Datei