半導体テスタ｜パラメトリック・テスト・システム

GaN/SiCを含む今日のアナログ／パワー半導体技術では、測定性能を最大化し、幅広い製品の組み合わせに対応し、さらにテスト・コストを最小限に抑えるパラメトリック・テストが必要とされています。40年以上にわたり、ケースレーは、プロセス統合、プロセス制御モニタリング、ダイソート・テスト（WATやKGD）や信頼性テストといった重要なアプリケーションにおいて、さまざまな重要な課題に対応してきました。

ケースレーのS530シリーズ・パラメトリック・テスト・システム（およびKTE 7ソフトウェア）は、新しいアプリケーションの出現や要件の変化にも対応できる、高速で柔軟性の高い構成を提供します。S530型は最大200Vのテストに対応し、S530-HV型は任意のピンで最大1,100 Vのテストが可能で、競合他社のソリューションよりもスループットを最大50%向上させることができます。KTE 7の新機能として、オプションのシステム・テストヘッドが追加されました。これにより、プローバとの直接ドッキングやレガシ・プローブ・カードの再利用が可能になり、車載規格IATF-16949の要件に対応した、システム・レベルの ISO-17025準拠のピン校正が可能になります。データの完全な相関関係と速度の向上により、S600やS400といったレガシ・システムからの最も簡単で円滑な移行が可能になります。

S500シリーズ統合テスト・システムは、構成の自由度が高い機器ベースのシステムとして提供されており、デバイス、ウエハ、またはカセット・レベルでの半導体特性評価に対応しています。S500シリーズ統合テスト・システムは、当社の実証済みの機器技術をベースに構築されており、お客様のニーズを満たす革新的な測定機能および柔軟性を兼ね備えています。独自の測定機能に加え、強力かつ柔軟な自動特性評価（ACS）ソフトウェアが用意されており、市場に出回っている他の類似製品にはない包括的なアプリケーションおよび機能を利用できます。