Keithley 파라메트릭 테스트 시스템

S530 특징

• 테스트헤드를 포함한 유연한 프로버 인터페이스 옵션으로 레거시 Keithley 및 Keysight 설치 지원
• 산업 표준 KTE 소프트웨어 환경
• 단일 프로브 터치다운에서 HV및 LV 매개변수의 완전한 테스트
• 새로운 SRU(System Reference Unit)를 통한 완전 자동화된 시스템 레벨 교정으로 최신 품질 표준 충족
• KTE 7의 상태 점검 소프트웨어 도구로 시스템 가동 시간 및 데이터 무결성 최대화
• 일시적인 과전압 또는 과전류 이벤트로부터의 보호가 내장되어 있어 높은 비용이 발생하는 시스템 중단 시간 또는 손상된 웨이퍼 최소화
• ISO-17025 교정 요구사항 충족 및 IATF-16949 준수 지원
• 300mm 웨이퍼 제조와 SECS/GEM 통합 제공

S540 특징

• 케이블 또는 프로브 카드 인프라를 변경하지 않고 단일 프로브 터치 다운에서 최대 48개 핀에 대해 고전압 브레이크 다운, 커패시턴스 및 저전압 측정을 비롯한 모든 웨이퍼 레벨 파라메트릭 테스트를 자동으로 수행
• 테스트 핀의 수동 재구성 없이 최대 3kV에서 Ciss, Coss 및 Crss와 같은 트랜지스터 커패시턴스 측정 수행
• 고속, 다중 핀, 완전 자동화 테스트 환경에서 낮은 레벨의 측정 수행
• Linux 기반 KTE(Keithley 테스트 환경) 시스템 소프트웨어를 사용하여 개발 테스트 및 실행을 빠르고 쉽게 진행 가능
• 프로세스 통합, 프로세스 제어 모니터링 및 프로덕션 다이 정렬에서 전자동 또는 반자동 애플리케이션에 이상적임
• 실험실 등급의 측정 성능을 유지하면서 테스트 시간, 테스트 설정 시간 및 실험실 공간을 최소화하여 소유 비용 절감

S500 특징

• 펨토암페어 미만 단위의 측정을 비롯한 전체 SMU(소스 측정 장치) 장비 사양이 제공되므로 거의 모든 장치에서 폭넓은 측정이 가능합니다.
• 메모리 특성화, 충전 펌핑, 단일 펄스 PIV(충전 트랩 분석) 및 PIV 스윕(자체 가열 방지)을 위한 펄스 발생 및 초고속 I-V가 제공됩니다.
• Keithley의 시스템 활성화 및 확장 가능 SMU 장비를 통해 채널이 적거나 많은 시스템(병렬 테스트 포함)을 제공합니다.
• 전력 MOSFET 및 디스플레이 드라이버와 같은 장치 테스트를 위한 고전압, 전류 및 전원 측정 장치가 제공됩니다.
• 스위칭, 프로브 카드 및 케이블을 통해 시스템을 DUT에 연결할 수 있습니다.