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吉時利參數測試系統
當今的類比和功率半導體技術 (包括 GaN 和 SiC) 要求進行參數測試,以最大化量測效能、支援廣泛的產品組合,並盡量縮減測試成本。40 多年來,Keithley 已經在關鍵應用中解決了這些難關,以及其他重要挑戰,例如流程整合、流程控制監控,生產晶粒分類 (例如晶片驗收或已知優質晶粒測試),以及可靠性。
Keithley S530 系列參數測試系統具備 KTE 7 軟體,能提供高速且完全彈性的配置,並可隨著新應用的出現和需求變化而成長。S530 可以承受最高達 200 V 的測試,而 S530-HV 可以在任何針腳上進行最高達 1100 V 的測試,從而使傳輸率比競爭解決方案高出 50%。KTE 7 的新增功能是可選的系統測試頭,可以直接對接探棒並重新使用舊版探棒卡,並支援汽車標準 IATF-16949 要求的系統層級 ISO-17025 針腳校驗。同時也支援傳統 S600 和 S400 系統最簡單、最順暢的移轉路徑,具有完整的資料關聯性並能提高速度。
540 參數測試系統是全自動、48 接腳參數測試系統,適用於高達 3kV 功率半導體裝置和結構的晶片位準測試。完全整合式 S540 只需用探棒接觸一次,就能執行所有高壓、低壓和電容測試,最適合最新的複合功率半導體材料,包括碳化矽 (SiC) 和氮化鎵 (GaN)。
S500 整合式測試系統是高度可配置的儀器式系統,適用於裝置、晶片或卡式位準的半導體特性分析。建置在我們可行的儀器上,S500 整合式測試系統提供創新的測試功能和系統靈活度,可調整以符合您的需求。獨特的量測功能,結合了強大且彈性的自動化特性分析套件 (ACS) 軟體,可提供市場上其他同級系統未提供的各式各樣應用和功能。
S530 功能
- 靈活的探棒介面選項 (包括測試頭),支援傳統的 Keithley 和 Keysight 安裝
- 業界標準的 KTE 軟體環境
- 探棒只需要接觸一次,即可完整測試 HV 和 LV 參數
- 透過全新系統參考單元 (SRU) 進行的全自動系統級校驗,符合最新品質標準
- KTE 7 中的健康檢查軟體工具,可最大化系統正常運行時間和資料完整性
- 內建暫態過電壓和/或過電流事件保護,可最大程度減少昂貴的系統停機時間或晶片損壞
- 符合 ISO-17025 校驗要求並支援 IATF-16949 相容性
- 提供 SECS/GEM 與 300 公釐晶圓廠的整合
S540 功能
- 探棒接觸一次,不必變更纜線或探棒卡基礎架構,針對最多 48 個接腳執行所有晶片位準參數測試,包括崩潰高壓、電容和低壓量測
- 執行高達 3kV 的電晶體電容量測,例如 Ciss、Coss 和 Crss,不必手動重新配置測試接腳
- 在高速、多接腳、全自動測試環境中,達到低位準量測效能
- Linux 架構的吉時利測試環境 (KTE) 系統軟體,可讓您輕鬆開發測試和快速執行
- 適合流程整合、流程監控和成品晶粒分類中的全自動或半自動應用
- 將測試時間、測試設定時間和地板空間減到最少,同時達到實驗室等級量測效能,降低擁有成本
S500 功能
- 全系列電源量測設備 (SMU) 儀器規格,包括次飛安培量測,確保可在幾乎任何裝置上進行廣泛量測。
- 適用於記憶體特性分析化、電荷泵、單一脈波 PIV (電荷擷取分析) 和 PIV 掃描 (避免自熱) 的脈波產生和超快速 I-V。
- 低或高通道計數系統,包括平行測試,搭配吉時利的系統啟用和可調整 SMU 儀器。
- 高電壓、電流和電源量測儀器, 適用於測試如功率 MOSFET 和顯示驅動程式這類的裝置。
- 切換、探棒卡和佈線可讓系統完全適用於您的 DUT。