掌握 C-V 測試的完整指南

電容-電壓 (C-V) 測試是分析關鍵半導體參數的強大且廣泛使用的技術,提供了對關鍵特性的深入洞察,如摻雜濃度與分布、載子壽命、氧化層厚度、界面陷阱密度等。

本 C-V 測試應用指南將協助您:

  • 理解 MOS 電容器的基本原理
  • 對 MOS 電容器進行精確的 C-V 量測
  • 探索擷取重要 C-V 參數的方法
  • 探索提升測試準確度的高階技術
CV Testing Application Guide

立即取得此應用指南,探索半導體特性分析的有效解決方案。

4200A-SCS 參數分析儀

適用於材料、半導體裝置和製程開發的終極參數分析儀

見證您的創新成果付諸實行。4200A-SCS 是可自訂且完全整合的參數分析儀,可提供對電流-電壓 (I-V)、電容-電壓 (C-V) 和超快速脈衝 I-V 特性分析的同步詳細資料。4200A-SCS 為最高效能的參數分析儀,能有效加速半導體、材料與製程的開發。

4200A-SCS ClariusTM 圖形化介面軟體提供了清晰且毫不妥協的量測與分析能力。Clarius 軟體內建豐富的量測專業知識和數百個隨時可用的應用測試,讓您能夠快速、自信地深入研究。

準確的 C-V 特性分析

使用 Keithley 最新的電容-電壓單元 (CVU) 4215-CVU,量測個位數飛法拉 (fF) 等級的電容。4215-CVU 透過將 1 V 交流電源整合至 Keithley 業界領先的 CVU 架構中,可在 1 kHz 至 10 MHz 的頻率範圍內提供低雜訊電容量測。

重點特色

  • 同級產品中首款能驅動 1 V 交流電源電壓的 C-V 計
  • 在 1 kHz 至 10 MHz 範圍內具備 1 kHz 頻率解析度
  • 量測電容、電導與導納
  • 使用 4200A-CVIV 多路切換器進行多達四個通道的量測

探索 4200A-SCS 參數分析儀如何實現精確的 C-V 特性分析!

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