透過快速且精準的特性分析，及早掌握元件劣化效應
通道熱載子（Channel Hot Carrier，CHC）劣化是現代超大型積體電路（ULSI）中的重要可靠度議題。當 MOSFET 通道內的載子在強電場作用下獲得高動能時，便可能產生此現象。CHC 也稱為熱載子注入（Hot Carrier Injection，HCI），會影響 NMOS 與 PMOS 元件，並隨時間造成多項關鍵參數劣化，包括閾值電壓（VT）、次臨界擺幅（Subthreshold Slope）、導通電流（ID,on）、關斷電流（ID,off）以及閘極電流（Gate Current）。其劣化速度則會因元件結構與製程技術不同而有所差異。
隨著元件尺寸持續微縮及新材料不斷導入，晶圓層級的可靠度測試變得愈來愈關鍵，也促使研發階段需要更早期、更精確的元件特性分析與評估。
了解 Keithley 4200A-SCS 參數分析儀如何簡化 CHC 可靠度測試流程，協助您更快速、更精準地完成元件特性分析與可靠度驗證。
Keithley 4200A-SCS 參數分析儀
材料、半導體元件與製程開發的終極參數分析平台
讓您的創新構想化為現實。4200A-SCS 是一套可客製化且高度整合的參數分析儀，能同步提供電流-電壓（I-V）、電容-電壓（C-V）以及超高速脈衝 I-V 量測與分析能力。身為業界頂尖效能的參數分析平台，4200A-SCS 可有效加速半導體元件、材料研究及製程開發流程。
4200A-SCS 搭載 Clarius™ 圖形化操作軟體（GUI），提供清晰直覺且不妥協的量測與分析體驗。內建豐富的量測專業知識與數百種可立即使用的應用測試範本，讓研究人員能以更快的速度、更高的信心深入探索研究課題，並獲得可靠的分析結果。
4200A-SCS 參數分析儀具備完整的模組化架構，可依照需求進行客製化配置與功能升級。無論是現在或未來，您都能彈性新增所需量測模組與儀器，隨著研發需求持續擴充系統能力。透過 4200A-SCS，將創新發現轉化為突破性成果，從未如此輕鬆。
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